スピンコーター
特徴
特徴
01
1960年代から各種ラボ機開発。納入累積7500台以上の実績を誇るトップメーカー
特徴
02さまざまな塗布材やサンプル形状対する検証データ保有
特徴
03スピンコーター(本体)と標準試料台は常に在庫を保有し、即納対応が可能
特徴
04操作性を向上させる、各種オプションが可能
特徴
05当社開発のスピンコータ専用サーボモータ・ドライバにより、膜厚コントロールがし易い
特徴
06ラボにてワークテスト及びテスト機貸出で導入支援
特徴
07充実した修理・メンテナンス体制で、国内外をサポート
≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫
| 機種 | 最大基板サイズ | 回転数 (rpm) | 滴下装置 | 電源 | 外形寸法(mm) ＜W×H×D＞ | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ウエハ | 基板（mm） | |||||
| MS-B100 | φ4インチ | 75×75 | 20～8,000 | 取付不可 | AC100～240V 5A | 259×246×330 |
| MS-B150 | φ6インチ | 100×100 | 20～7,000 | オプション | 352×303×432 | |
| MS-B200 | φ8インチ | 150×150 | 20～5,000 | 500×335×583 | ||
| MS-B300 | φ12インチ | 200×200 | 20～5,000 | AC200～240V 単層 5A | 545×432×654 | |
| MS-B200密閉型 | ― | 100×100 | 20～3,000 | 取付不可 | AC100～240V 5A | 540×460×630 |
| MS-B300密閉型 | ― | 150×150 | 20～3,000 | オプション | AC200～240V 単層 5A | 570×590×650 |
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