検査・測定装置

• OPTM series

  高精度な絶対反射率が可能にした顕微膜厚計
  膜厚値・光学定数を精度良く測定

  

• 反射式膜厚モニタ

  小型、低コスト、簡単操作、数秒で測定が出来る
  反射分光膜厚計

  

本測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定装置です。高い真直度精度を有す移動テーブルと微小測定力の直動式検出器を組み合わせにより高精度な測定と軟質試料面の測定にも対応しています。

• マニュアルから自動測定（3次元）までの低価格段差測定装置、ET200A、ET200A-D、ET200A-3D

  

• 高精度な表面形状解析、段差測定、粗さ測定、3次元解析の多機能な高精微細形状測定装置です。
  全自動　ET4000A、ET4000AK

  

• コンフォーカル顕微鏡

  6つの機能を1台に搭載！

  白色コンフォーカルとレーザーコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直白色干渉観察、位相シフト干渉観察反射分光膜厚膜厚測定を1台に搭載できる多機能高性能顕微鏡です。

  

• 微小線幅測定装置

  線幅測定装置は、傾斜部分も含む測定条件を設定する事により、再現性の高い線幅測定が可能となっており、フォトリソ工程におけるレジストなどのパターン線幅寸法チェックに最適な測定システムです。