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home >> 検査・測定装置 >> 非接触膜厚計
非接触式薄膜測定装置(フィルメトリクス、Fシリーズ)
 弊社は半導体業界において、スピンコーター・マスクアライナー・光学顕微鏡・検査装置などを長年販売して参りました。その結果として、多くの実績と高い評価を頂いております。その経験も踏まえて、非接触膜厚計(膜厚測定システム・厚み計)をご案内致します。研究開発から品質保証用途まで、幅広い商品を取り揃えております。

 光干渉式膜厚測定装置は、膜の表面と基板との界面からの反射光の光路差によって生じる干渉光のデータを利用して膜厚を解析します。半導体・FPD分野の、ウエハ上の酸化膜・窒化膜、スピンコーターで塗布後のポジ型レジスト、ネガ型レジスト、MEMS用厚膜レジスト、カラーレジスト、及びCMPプロセスでのSiウエハの厚み測定、顕微鏡を用いた微小領域の膜厚測定、多層膜の測定など、さまざまな膜厚管理のニーズに応えることが出来ます。 また、非接触膜厚計(膜厚測定システム・厚み計)はコンパクトな本体とノートPCというシンプルなシステム構成は、省スペースについてのニーズをも満足させます。

特徴

非接触式測定である
短時間で測定(1〜2sec/point)
フイルム等の柔らかい材料の
  測定可能
多層膜も測定可能
操作が簡単
豊富なマテリアルライブラリー
 
 
 
   
膜厚測定内容に応じた幅広いラインナップ 
   
  <F20>

F20

シングルポイント膜厚測定用途
コンパクト・低価格
研究開発用途に最適です。

       
  <F20>

F50

自動マッピング測定 膜厚分布・3D表示付 φ3’,4’,6’,8’,12’ウエハ及び角基板に対応 450mmウエハ対応の機種もあります。生産技術・品質保証での用途などに最適です。

   

 

<F50>

F40

<F50>

    <F40UV 顕微鏡仕様 薄膜測定用途>

顕微鏡式 TVカメラにより測定箇所をPCで確認。 
膜厚測定スポットは、φ1μmから100μmまで対応
(使用する対物レンズ・アパーチャアにより選択可能。)
パターン付ウエハなどの多様な膜解析に最適です。

 
用途・膜厚測定対象に適した測定レンジと機種の組合せを、下記よりお選びください。
機 種 名 (測定波長) UVタイプ
200-1100(nm
VISタイプ
380-1050(nm)
NIRタイプ
950-1700(nm)
EXRタイプ 
380-1700(nm)
UVXタイプ
200-1700(nm)
F20
(シングル スポット測定)
(測定膜厚) 5nm〜40μm  20nm〜40μm 100nm〜250μm 20nm〜250μm 5nm〜250μm
F50
(自動マッピング測定)
F40
(顕微鏡式)
5nm〜30μm 20nm〜40μm ※ 40nm〜120μm ※ 20nm〜120μm ※ 5nm〜100μm ※
http://www.mikasa-inc.jp/images/spacer.gif用途 フラットパネル   ARフィルム、有機EL・OLED セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、各種光学フィルム フィルム厚 セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、カラーレジスト、各種光学フィルム セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、カラーレジスト、各種光学フィルム
半導体   半導体膜、酸化膜(SiO2)、窒化膜、 レジスト、酸化膜(SiO2)、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、 アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジスト(SU-8など)、SOIウエハ(活性層、ボックス層)など レジスト、アモルファス/ポリシリコン、SOIウエハ(活性層、ボックス層) レジスト、半導体膜、酸化膜(SiO2)、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジスト(SU-8など)、SOIウエハ(活性層、ボックス層)、など
光学コーティング   反射防止膜 自動車ヘッドライト・メガネ・レンズ等のハードコート、反射防止膜 - - -
薄膜太陽電池   - CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど -
LED   - アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など -
※ 対物レンズに応じて変わります。
上記の組合わせ以外にも、Siウエハ・ガラス・フィルム厚み測定、Siウエハ重ねあわせギャップ測定など、
様々な用途に応じた製品がありますのでお問合わせください。
 
測定精度など詳細は特設サイトへ
非接触膜厚計 F20   非接触膜厚計 F40   非接触膜厚計 F50
弊社では、最適な製品をご提案するする為、無料でサンプルの膜厚測定を実施しております。是非ご利用ください。 デモのご依頼こちら
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