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高精度段差計(ETシリーズ)
 ミカサが長年手がけておりますホトリソ分野の検査工程で必要とされます、高精度段差計(プロファイラー・微細形状測定機)をご紹介致します。高精度段差計(プロファイラー・微細形状測定機)は、AFM(Atomic Force Microscope:原子間力顕微鏡)に近い低触圧まで対応する世界トップレベルの高精度を誇る段差計(プロファイラー)です。今後、段差計(プロファイラー)に求められるナノレベルの解析要望にお答え致します。

半導体・液晶の材料開発や製造プロセスでの膜厚測定では、薄膜、金属膜、黒色膜、厚膜の段差測定が求められています。また測定結果にはなにより精度が求められます。このようなニーズに於いて研究開発から生産まで幅広く対応出来ます。
ET200
 特徴
 ■  コストパフォーマンスが高い二次元表面粗さ(表面性状)解析及び段差測定装置です。
 ■  X軸の真直精度保証(0.2μm/100mm以下)により、形状・うねり測定の信頼性向上。
 ■  軟質試料面に対応するため測定力コントロールを採用。
 ■  直動式検出器を採用により てこ式検出器における円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現。
外観 測定プロファイル
外観 段差測定プロファイル
ET200仕様
最大サンプルサイズ: φ160mm 厚さ64o
再現性 : 1σ 1nm以内
測定範囲 : Z:600μm X:100mm
分解能 : Z:0.1nm X:0.1μm
測定力 : 10μN〜500μN
検出器
検出器
ET4000A
 特徴
 ■  FPD基盤・ウエハー・ハードディスク等の3次元微細形状、段差、表面粗さ(表面性状)測定に最適。
    (3次元微細形状測定は、ET4000AK)
 ■  X軸の真直精度保証(0.1μm/100mm以下)により、形状・うねり測定の信頼性向上。
 ■  軟質試料面に対応するため測定力コントロールを採用。
 ■  直動式検出器を採用により てこ式検出器における円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現。
 ■  オートレベリング機能によりサンプルの平行出しが自動で簡単にできます。
外観 3次元微細形状測定(ET4000AK仕様)
外観  3次元微細形状測定(ET4000AK仕様)
ET4000A仕様
最大サンプルサイズ: 210×210mm
再現性 : 1σ 0.5nm以内
測定範囲 : Z:100μm X:100mm
分解能 : Z:0.1nm X:0.01μm
測定力 : 0.5μN〜500μN
観察画像
観察画像
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非接触膜厚計
 
     
 
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